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μAオーダーの微小電流読取が可能なイオンポンプ専用高圧電源

HIPシリーズは、高真空度を保持するために不可欠となる高精度電流モニタを標準裝備したイオンポンプ専用高圧電源です。微小な電流値も電流モニタにて正確に読み取ってステータスを出力し、高真空度の保持をサポートします。

※ご要望に応じてカスタマイズも承ります。どうぞお気軽にご相談下さい。

·  微小値まで読み取りが可能な電流モニタ

·  Hi、Loの2點設(shè)定で過電流を検出してステータスを出力

·  3.5kV、5kV、7.5kV出力の3タイプをラインナップ、イオンポンプに応じて選択可能

·  機能を厳選することでローコスト化を?qū)g現(xiàn)

·  ※1：無負荷時の値です。

·  ※2：出力短縮時の値です。